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硅片厚度傳感器（SIT-200）

硅片厚度傳感器（SIT-200）

簡(jiǎn)要描述：硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調(diào)諧激光器探測(cè)被測(cè)晶圓。這使得每波長(zhǎng)的功率測(cè)量更高，從而產(chǎn)生更高的動(dòng)態(tài)范圍。

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：光電常用設(shè)備

更新時(shí)間：2024-12-16

詳細(xì)說(shuō)明：

      硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調(diào)諧激光器探測(cè)被測(cè)晶圓。這使得每波長(zhǎng)的功率測(cè)量更高，從而產(chǎn)生更高的動(dòng)態(tài)范圍。結(jié)果，例如在濕蝕刻期間/之后，甚至可以在未拋光的晶圓上執(zhí)行厚度測(cè)量。

      硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點(diǎn)有：

      一、硅片用全光非接觸式厚度傳感器
      二、能夠測(cè)量無(wú)序表面的高動(dòng)態(tài)范圍
      三、能夠在濕法腐蝕過(guò)程中進(jìn)行原位測(cè)量
      在生活中其常常應(yīng)用于硅片厚度測(cè)量

    硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點(diǎn)有：

      一、硅片用全光非接觸式厚度傳感器
      二、能夠測(cè)量無(wú)序表面的高動(dòng)態(tài)范圍
      三、能夠在濕法腐蝕過(guò)程中進(jìn)行原位測(cè)量


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